N31系列三維壓電馬達(dá)

三維閉環(huán)壓電馬達(dá)可在XYZ三個(gè)方向運(yùn)動(dòng)，配備有增量式編碼器進(jìn)行閉環(huán)控制。內(nèi)部采用PZT壓電式驅(qū)動(dòng)，每軸運(yùn)動(dòng)行程可選25、50、100mm，可達(dá)納米級(jí)分辨率。

產(chǎn)品特點(diǎn)

 行程25、50、100mm/軸可選

 納米級(jí)分辨率

 增量式編碼器

 承載達(dá)2.5kg

產(chǎn)品應(yīng)用

 超分辨成像樣品移動(dòng)

 微納裝備及制造

 掃描電鏡（SEM）樣品操縱

 納米聚焦與掃描

 主動(dòng)光學(xué)

 集成電路制造與檢測(cè)

 顯微及納米CT

 大范圍電子束直寫(xiě)（EBL）

 高真空樣品精度對(duì)準(zhǔn)及調(diào)姿

N31系列三維壓電馬達(dá)